做SEM或者TEM的时候，一般都会进行EDS打点或者区域扫描，这时软件会给出一个峰谱图，选择想要参与计算的元素及相应的线系后，就能得到各个元素的原子百分比。今天给大详细介绍一下EDS能谱仪。
EDS能谱工作原理：
EDS能谱仪，又名显微电子探针，是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中Be以上的物质元FUCjlbT素，检测流程包括电镜样品制备，上机操作分析，后提供成份分析谱图与半定量成份组成比等数据。
EDS能谱主要用途：
1、EDS测试与扫描电镜或者透射电镜联用，选定微小位置区域，探测元素成份与含量；
2、EDS测试是失效分析当中对于微小痕量金属物质检测的重要的检测手段；
3、EDS测试是区分有机物与无机物的简便的手段，对于有机物只要发现检出大量碳和氧元素，基本可以断定含有大量有机物。
EDS能谱试验时间：
1、如果样品不需要切片制样，直接观察对话，那么电子显微镜制样一般半个小时即可，上机观察之前机器一定要保持真空工作状态，半小时内可以得到图像数据。一般可以随来随看。
2、需要用到液氮原由网冷却探头，如果没有加液氮，则需要一个小时时间来等待冷却。
EDS能谱测试要求：
对于非金属样品，为了提高放FUCjlbT大倍率，需要镀金，样品原貌会有一定改变；
对于金属样品，不用镀金就可以进行元素分析；
EDS的结构
1、探测头:把x射线光子信号转换成电脉冲信号，脉冲高度与x射线光子的能量成正比。2、放大器:放大FUCjlbT电脉冲信号。
3、多道脉冲高度分析器:把脉冲按高度不同编入不同频道，也就是说，把不同的特征X射线按能量不同进行区分。
4、信号处理和显示系统:鉴别谱、定性、定量计算;记录分析结果。
EDS的分析技术
1、定性分析:EDS的谱图中谱峰代表样品中存在的元素。定性分析是分析未知样品的第一步，即鉴别所含的元素。如果不能正确地鉴别元素的种类，最后定量分析的精度就毫无意义。通常能够可靠地鉴别出一个样品的主要成分，但对于确定次要或微量元素，只有认真地处理谱线干扰、失真和每个元素的谱线系等问题，才能做到准确无误。定性分析又分为自动定性分析和手动定性分析，其中自动定性分析是根据能量位置来确定峰位，直接单击“操作/定性分析”按钮，即可在谱的每个峰位置显示出相应的元素符号。自动定性分析识别速度快，但由于谱峰重叠干扰严重，会产生一定的误差。
2、定量分析:定量分析是通过x射线强度来获取组成样品材料的各种元素的浓度。根据实际情况，人们寻求并提出了测量未知样品和标样的强度比方法，再把强度比经过定量修正换算成浓度比。最广泛使用的一种定量修正技术是ZAF修正。
3、元素的面分布分析:在多数情况下是将电子束只打到试样的某一点上，得到这一点的X射线谱和成分含量，称为点分析方法。在近代的新型 SEM中，大多可以获得样品某一区域的不同成分分布状态，即:用扫描观察装置，使电子束在试样上做二维扫描，测量其特征X射线的强度，使与这个强度对应的亮度变化与扫描信号同步在阴极射线管CRT上显示出来，就得到特征x射线强度的二维分布的像。这种分析方法称为元素的面分布分析方法，它是一种测量元素二维分布非常方便的方法。
EDS常见问题：
①eds图的横纵坐标表示什么意思
回：横坐标是能量energy/kev，纵坐标是计数counts/cps
②能谱（EDS）能定量分析元素的含量吗
回：只能做到半定量
③为什么eds能谱中同一个元素会有不同的峰值
回：代表激发出来的电子的能量，不同元素有自己的特征激发能量峰（一般不止一个，是一组），
④EDS能分析表面的元素组成吗
回：能谱仪可应用于微区成分分析和样品中元素的点分析、线分析、面分析。能谱仪与波谱仪类似，也有点分析、线分析、面分析三种分析方式，作用与波谱仪类似，但分析速度比波谱仪快的多，其缺点是其分辨率较波谱仪稍差，常有相邻谱峰的重叠现象，使元素分析发生困难。
⑤能谱分析中wt和at是什么
回：Wt%是质量百分数At%是原子含量百分含量
⑥能谱（EDS）中线扫和面扫的区别，意义，作用
回：面扫描就是整个面的元素分布，可以用来大约估计合金组成或某些元素的富集区；线扫描，用来形象表示某一类或几类元素的变化趋势，一般在相界面或过渡区进行线扫描。
⑦EDS能谱分析软件在计算原子百分比的时候采用的是峰强度的比值还是峰面积积分后的比值，另外有没有校正因子，峰谱图中可能同时含有某一原子的K系和L系的峰，计算的时候选择一个峰计算还是都参与计算，怎样选择更准确？
EDS能谱是根据谱峰面积和校正因子定量的。
校正的理论和方法有多种，目前最常用的是ZAF校正，即考虑原子序数（Z）、X射线吸收（A）和荧光效应（F）进行校正。具体方法目前基本都是靠仪器配套的软件自动完成的，对于初级用户，不用考虑人工校正。只要认识到“峰面积较大的对应的元素不一定较多”这一点就够了。
由于理论上同一元素不同谱峰的比值是常数，定量时通常是一个元素选择一个合适的谱峰，但对于不同的元素可以选择不FUCjlbT同的线系。通常对于Z在11到30之间的元素，选K线；Z在29至71之间选L线，Z在72至92之间选M线。实际使用中，由软件程序自动选择，初级用户可以不用干预。（仅在出现严重的谱峰重叠的时候，考虑更换定量依据的线系。）
EDS能谱通常用于对质量分数高于1%的元素进行定量，且对于原子序数大于10的元素给出较可信的定量结果。相对误差在1%至10%之间，受样品条件、仪器状态和操作人员的水平等因素的影响。
对于原子序数小于10的元素的定量结果受定量方法选择的影响很大，基本上可以说是不靠谱的，相对误差大于10%。仅在含量较大的时候（即主成份）有意义，
