扫描电镜图片怎么分析，很多人做了扫描电镜测试，但是不太清楚怎么分析扫描电镜图片， 今天铄思百检测小编为大家简单讲解一下如何分析扫描电镜图片。

1、扫描电镜照片是灰度图像，分为二次电子像和背散射电子像，主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。

一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌，基本和自然光反映的形貌一致，特殊情况需要对比分析。

背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况，越亮的区域，原子序数越高。

2、看表面形貌，电子成像，亮的区域高，暗的区域低。非常薄的薄膜，背散射电子会造成假像。导电性差时，电子积聚也会造成假像。

扫描电镜图像放大倍数定义为显示器上图像宽度与电子束在试样上相应方向扫描宽度之比。例如显示器上图像宽度为100mm，入射电子束在试样上扫描宽度为10um,则放大倍数M为:

M= 100mm/ 10um =10000

因显示器上图像宽度一定，只要改变电子束在试样表面的扫描宽度，就可连续地几倍、十几倍直至几万倍地改变图像放大倍数。放大倍数调整范围宽是扫描电镜的一个突出优点，低倍数便于选择视场、观察试样的全貌，高倍数则观察部分微区表面的精细形貌结构。

接下来我们看看扫描电镜图的实例分析：

一、典型的形貌相（二次电子像SEI）

下图反映的是35CrMnMo钢管壁断口照片，这反映了它的脆性。机械零件断裂失效分析中，断裂主要由材料缺陷引起:例如金属和非金属夹杂物、结晶偏析、气孔等。这借助于SEM和EDS很容原由网易观察和分析。

SEM所得金相组织照片与光学显微镜的金相组织照片相反，如下图4.23所示。

图4.23 金机组织光镜照片 500X

二、背散射电子像（BEI）观察

背散射电子含有试样平均元素组成、表面几何形貌信息。使用半导体检测器可以观察样品表面的成分像，以及成分与形貌的混合象。背射电子象缺乏细节,远不如二次电子象清晰，但是能从背射电子象的衬度迅速得出一些元素的定性分布概念，对于进一步制定用特征x射线进行定量分析的方案是很有好处的。很多金相抛光试样，未腐蚀的光滑表面，看不到什么形貌信息，必须借//www.58yuanyou.com助背散射电子像才能观察抛光面的元素及相分布,确定成分分析点，研究材料的内部组织和夹杂。导电性差的试样,形貌观察时，BEI优于SEI。背散射电子像观察对于合金研究、失效分析、材料中杂质检测非常有用。下图是合金的二次电子和背散射电子照片。

图4.23 合金的背散射电子照片 500X

三、粒度分布测量

大规摸集成电路板上的沟槽深、线宽、圆直径、正方形、长方形边长等的测量;粉体（尤其是纳米）颗粒粒度测量、标准粒子微球的粒度定值;复合材料（如固体推进剂）中某种颗粒组份粒度分布测量、样品表面孔隙率测定等…，都可以使用图像处理、分析功能，有自动和手动。现在的EDS中都有该软件包供选择,用SEM测量测定粉体颗粒粒度是准确、方便和实用的。测量的粒度范围可以从几十原由网纳米到几个毫米，是任何专用粒度仪所无法胜任的。尤其当分析样品的粒度小于3um(例如:超细银粉、碳粉、钻蓝、Fe203、SiQ2等）时，超细颗粒极易聚集、团聚(如下图)、在水中特别难于分散的特性，传统的湿法粒度分析(例如: Coulter计数法、激光散射法、动态光子相关法）就无法得到真实的粒度结果。而扫描电镜粒度分析法却不受这些限制，比较灵活，完全能适应这些特殊样品的粒度分析，同时它属于绝对粒度测量法。为克服SEM粒度分析法所存在的测定样品量太少、结果缺乏代表性的缺点，在实际操作时,要多制备些观察试样，多采集些照片，多测量些颗粒(300个以上)。超细粉体样品一般制备在铜柱表面上，希望颗粒单层均匀分散、彼此不粘连。这样，在不同倍数下得到照片，便于图象处理和分析功能自动完成;否则,就要手工测量每个颗粒的粒度，然后进行统计处理..

堆积荧光蓝粉颗粒的粒度测量 2000X

下表是荧光蓝粉（形状近似球体）的SEM粒度测量结果与激光衍射法、电导法测量结果的比较。从表4.1可以看出，它们的测量结果比较一致，证明SEM法的粒度测量结果是可靠的。

使用SEM法时应该注意:

(1)SEM粒度测量法得到的体积平均粒度Dv,不是直接测得的，而是通过数学上的转换得到的。从球体体积计算公式可知，用SEM检测时，忽略、漏检1个10um的颗粒相当于忽略、漏检1000个1um颗粒的影响。所以，大颗粒对Dv的影响是很bLxzh大的。

（2）随着测量颗粒数的增加，数均粒度Dn的变化并不明显，而体均粒度Dv的变化就稍大。当测量的颗粒数大于200时,Dv变化趋向平稳。可以认定，200颗粒就是合适的测量个数。对于形状不规则、粒度分布宽的样品言，测量颗粒数对粒度结果Dv的影响就很明显，一般选择测量颗粒数目为300个以上。

(3）测量结果误差:从SEM的放大倍数误差鉴定知，不同倍数下的长度测量误差是不同的。当把数均粒度转化为体均粒度时，长度测量误差就会引入到测量结果中。因体均粒度为数均粒度的立方函数，则带入体均粒度的误差就为长度测量误差值的立方。

四、样品成分的定性、定量分析

1.样品要求

EDS能够分析有机物（(如高分子聚合物、生物细胞、植物)、无机物（如金属、氧化物、矿物盐类)、复合材料（有机物和无机物的复合，如推进剂、计算机外壳)，样品状态可为块状、粉末或水/油悬浮液中的颗粒物（当然要进行分离、干燥），能定性给出这些样品的元素组成。

过去，做EDS分析要求样品表面光滑，现在没有这种要求，不过，分析粗糙试样，仍局限于定性或半定量分析。

为了得到准确的定量结果，还是使样品表面尽量平滑。

另外，对样品的要求还有:

(1）有良好导电性好，导电性不好或不导电的样品，特别是含超轻元素(如C、N、O、F)的样品，最好先在样品表面上喷涂碳膜;

(2）试样尺寸:越小越好，特别是分析不导电的样品时，小试样可以改善导电性差的影响;大试样，会放出较多气体,影响真空和带来污染;

（3）均质、有代表性、无磁性、无污染。

(4)粉体样品:细颗粒可依靠自身的表面吸附力，用无水乙醇使其粘附在铜或铝台表面上，要有适当堆积厚度，尽量不使电子束激发样品台的成分。必要时可事先检测一下粉体样的成分，若有铜或铝，就相应地使用铝或铜台。粗颗粒要粘在导电胶带上，做EDS时尽量选择较大的颗粒分析。但是，不论细或粗颗粒，做EDS时最好用压片机制成快状。

2.能谱仪的分辨率

能谱仪的分辨率有能量分辨率和空间分辨率之分。能量分辨率是能谱仪最重要的性能指标，以全峰半高宽(FWHM）计量。一般在探头装入电镜样品室之前。

3.定性分析与定量分析

样品：钢管表面

能谱图的横坐标为元素的特征x射线峰的特征能原由网量，单位kev，也为脉冲高度，与元素种类有关;纵坐标为脉冲数，单位为CP，即收集的X-射线光子数，谱峰的高度与分析的元素含量有关，但是，非正比关系。上能谱图中显示出的谱峰是铁的K&、K、L线，C、0、si、S、Ca、Cr、Mn的Ko线。这样，定性分析就得到样品中所含元素的种类和与含量有关的数据。